ATOSTriple Scan SO

MV60(60×45×35)mm

0.004mm

扫描产品外形，分析变异，支持逆向工程

MV170(170×130×130)mm

0.005mm

扫描产品外形，分析变异，支持逆向工程

MV320(320×240×240)mm

0.008mm

扫描产品外形，分析变异，支持逆向工程

ATOS Capsule

MV70(70×50×40)mm

0.003mm

扫描产品外形，分析变异，支持逆向工程

MV120(120×80×60)mm

0.003mm

扫描产品外形，分析变异，支持逆向工程

MV200(200×140×140)mm

0.003mm

扫描产品外形，分析变异，支持逆向工程

S-NEOX

20mm

准确度 0.5%，重复性   0.1%

共聚焦技术，分析三维形貌、表面微观结构、透明薄膜等

Micro XAM 1200

(0~5)mm

重复性 1nm（EX   Mode）、0.05nm（Phase Mode）；准确度 1%

白光干涉法，分析 2D/3D 粗糙度、微小角度等