扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用聚焦的高能电子束扫描样品表面，通过检测样品与电子束相互作用产生的信号（如二次电子、背散射电子、特征X射线等）来获得高分辨率表面形貌和成分信息的科学仪器。其分辨率可达纳米级（通常1-10 nm），远高于光学显微镜。

SEM表面形貌观察
这是扫描电镜最基础的用途。它能清晰呈现样品表面的微观结构，比如金属材料的晶粒形态、断裂后的断口特征（判断断裂原因）；半导体芯片的电路布线、缺陷（如划痕、空洞）；生物样品（如细胞、细菌、花粉）的表面结构（需经过干燥、镀膜等处理）；地质样品（如矿物颗粒、岩石断面）的微观形态等。

EDS成分分析
扫描电镜常搭配能谱仪（EDS），通过分析电子与样品作用产生的特征 X 射线，实现对样品微区的元素组成及分布分析。

如：

检测金属材料中的杂质元素及分布；

分析矿物中各元素的赋存状态；

确定生物样品中特定元素（如钙、磷）的分布（如骨骼、牙齿的矿化区域）。

工业检测与失效分析
电子行业：检查芯片焊接处的虚焊、引线断裂，观察电路板的腐蚀或污染；

材料行业：检测涂层的厚度、均匀性，或复合材料的界面结合状态；

机械行业：分析磨损表面的磨痕形态，判断磨损机制（如粘着磨损、磨粒磨损）。

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