聚焦离子束FIB

聚焦离子束FIB

Part.1

FIB聚焦离子束系统具备 FIB、SEM、EDS 功能，可实现微观结构观察（50x～2,000,000x）、Be-U 范围内元素分析（深度 2-3μm，面积 > 1μm）及切割（Xe⁺，深度 < 100μm）、Pt 沉积、XeF₂蚀刻等操作；其扫描方式包括点扫描（20-40s 出结果）、线扫描（反映元素分布）、面扫描（呈现分布及总比例），可满足不同分析需求。

核心功能

集成了FIB（聚焦离子束）、SEM（扫描电子显微镜）和EDS（能量色散X射线光谱）技术，实现多模态分析

功能介绍

●微观结构分析：

放大倍数范围：50x～2,000,000x，允许从宏观到纳米级别的详细观测

●元素分析：

可分析元素范围：从铍（Be）到铀（U）

探测深度：2-3μm（微米）

最小分析面积：>1μm²（需大于1平方微米）

●切割能力：

使用氙离子（Xe+）

最大切割深度：<100μm