离子束切割 Part.1
三离子束切割仪,专为材料科学和显微分析设计。它主要用于制备高质量切割截面,适用于扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等微区分析(如EDS、WDS、Auger、EBSD)。核心优势是几乎兼容任何材质样品(包括硬的、软的、多孔的、热敏感的、脆的或非均质多相复合材料),并能最小化样品损伤,暴露出真实内部结构。
主要目的
1.获得平整、无变形的切割截面,便于后续显微分析。 2.适用于高通量实验室环境,提高成本效益。 性能优势
1.高速切割:研磨速率高达150μm/h(以Si材料为例,10 kV,3.0 mA,50μm切割高度)。 2.高质量截面:可处理宽且深的切割区域(>4×1mm),暴露内部目标区域。 3.多功能性:每把离子枪可单独控制,支持切割和衬度增强(离子束刻蚀)两种模式。 主要功能
1.切割制备:适用于各种材料,获得高质量截面,便于SEM/AFM分析。 2.衬度增强:切割后可在同一载台上进行离子束刻蚀,强化拓扑结构(如晶界),无需转移样品。 3.实时监控:通过体视镜或HD-TV摄像头观察处理过程,LED照明辅助定位。 应用领域
1.材料科学:铝合金(EBSD分析)、聚合物纤维(低温截面)。 2.半导体及电子:IC组件(金线接点截面)、焊点 / 引线失效等 3.工业与科研:粘土、纸张(SiC覆层)、胶合板、电子书截面。 4.通用优势:几乎任何材质,包括热敏感和水溶性样品。 END
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