C-SAM(超声波扫描)是一种用于封装内部缺陷无损检测的技术,其核心原理是利用频率大于 10MHz 的超声波,通过检测不同界面的反射能量来判断缺陷 —— 不好的粘合面会反射更高的能量,以此实现对封装内部结构的非破坏性检测。
探头频率选择。
高频探头(如100-300 MHz)提供更高分辨率(可达0.1μm),适合检测微米级分层。
低频探头(如10-50 MHz)用于穿透较厚材料,但分辨率降低。
主要用于检测电子元件封装内部的各类缺陷,具体包括:
1.芯片相关缺陷:如芯片表面分层、芯片破裂等;
2.封装结构缺陷:如晶片托盘上分层、晶片托盘(打线区域)分层、底面填胶分层、基板上分层等;
3.封装质量检测:可用于 PLCC、TSOP、TQFP、PQFP、PBGA、FC 等多种封装形式的器件检测。
分层检测(Delamination)
裂纹与空洞检测(Cracks/Voids)
键合质量评估(Bonding Integrity)
夹杂物与材料缺陷(Inclusions)
C-SAM超声波测试的优势
1.非破坏性测试:在检测过程中不会对样品造成物理损伤,保证了样品的完整性和可重复使用性。
2.高分辨率:能够实现微米级别的分辨率,准确识别样品内部的微小缺陷。
3.多模式扫描:支持C-Scan(表面及横向截面扫描模式)、B-Scan(纵向截面成像模式)等扫描模式。
4.直观成像:直观展示样品内部的结构和缺陷情况,便于分析和判断。
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