芯片开封测试介绍
芯片开封测试(Chip Decapsulation & Testing)是针对已完成封装的芯片,通过专业工艺去除外部封装材料(如环氧树脂、陶瓷、金属壳等),暴露内部核心裸片后,对裸片及内部结构进行物理检查和电学测试的技术手段。
该技术核心特点是 “先开封,后测试”:
开封(Decapsulation):采用化学腐蚀(酸性溶液去除环氧树脂)、激光切割或机械研磨等方式,在不损伤裸片、键合线及内部电路的前提下,剥离外部封装,露出芯片核心。
测试(Testing):基于暴露的裸片,结合光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、探针台、电学测试仪等设备,开展物理观察和功能验证。
芯片开封测试验证项目
物理层面
裸片外观:检查 Die 表面是否有划痕、裂痕、烧灼痕迹、氧化腐蚀或污染物。
键合质量:验证键合线(金线 / 铜线 / 铝线)与裸片焊盘(Pad)、封装引脚的连接是否牢固,是否存在键合脱落、断裂、虚焊或短路。
封装界面:检查裸片与封装基板的粘贴是否完好,有无分层、气泡或胶水溢出。
电学 / 功能层面
引脚连通性:测试封装引脚与裸片焊盘的导通性。
核心功能验证:检测输出是否符合设计规格(如逻辑功能、时序特性、电压 / 电流参数)。
失效点定位:通过探针逐点测试裸片内电路,定位具体失效区域。
工艺 / 设计一致性
光刻图案一致性:观察裸片表面的光刻图形(如晶体管阵列、布线布局),确认与设计图纸(GDSII 文件)一致,无额外布线或删减。
工艺节点验证:分析裸片的晶体管尺寸、布线间距,确认实际工艺节点(如 7nm、14nm)与标称一致。
无篡改验证:检查裸片是否存在 “二次加工” 痕迹,辅助验证是否为“翻新芯片”等。
可焊性测试
芯片开封测试
PCB板清洁度测试
切片试验
汽车材料零部件测试